平臺支撐

依託蘇州工業園區產業平臺基礎,聯合各產業載體、政府資源,共同建設世界一流的研發與產業化公共技術支撐平臺體系。

圍繞微納製造、納米新材料與器件、第三代半導體、納米大健康四大領域,規劃建設基礎研究、應用研究、工程化中試、公共技術服務四大類支撐平臺,打造服務區域產業、輻射全國的產業創新公共平臺服務體系。

平臺體系

微納製造(MEMS)中試平臺

MEMS中試量產平臺是國內首個商業化運作的6英寸MEMS器件研發、中試和批量化生產基地,開展包括硅基MEMS、以及氮化鎵等三代半產品工藝研發、中試、量產服務,現有設備170餘臺套,形成了年產50000晶圓的批量生產能力。目前出貨量排名全國前三,已服務70多家企業、200多顆產品,填補國內多個自主器件空白,成爲對中國MEMS產業支撐最大的產線。

爲打破規模製約及進一步提升平臺支撐能力,平臺正積極進行6英寸升級及籌劃8寸產線,主要用於氮化鋁、PZT、氧化釩、AMR/TMR磁等新材料生產製造F-BAR濾波器、微鏡、PMUT、非製冷紅外探測器等,有效支撐5G通訊、智能傳感、激光雷達、3D成像及VR/AR等產業發展。

國內首個市場化、全開放6-8英寸MEMS中試平臺

成功案例

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請聯繫: 0512-67997145 餘先生